結構焦った。
ExcelでExport的な処理を書いていたのですが、プロセス残る・・・。
全部ちまちまと解放してるはずなんだけどな・・・と、
丁度id:akirameiさんのところで同じような話を見ていたので参考にさせて頂きました。
http://d.hatena.ne.jp/akiramei/20070924/1190633920
要因はこれ。
http://support.microsoft.com/kb/317109/JA/
VBで書いてたときはApplicationでFinalReleaseComObjectすれば全部解放したような気がしたけど、
ちょいと記憶が曖昧。この通りに書いてたのかもしれない。
本当にInterop.Excel群でどうにかして欲しいデス。